水素、酸素、窒素、ヘリウム等の産業用ガスはもちろん、キセノン(Xe)、クリプトン(Kr)等の希ガス、 半導体製造等で使用される四フッ化メタン(CF4)、六フッ化硫黄(SF6)等の温室効果ガスの測定も可能です。